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全自动晶圆探针台SKD3000

全自动晶圆探针台SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大规模集成电路）和VLSI（超大规模集成电路）晶圆测试的探针台。

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产品描述

概述：

全自动晶圆探针台SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大规模集成电路）和VLSI（超大规模集成电路）晶圆测试的探针台。

 

优点特点：

1、高精度探针台测试主体的X/Y轴的绝对定位精度可达±2μm；

2、高刚性Z/θ轴能实现Chuck长时间稳定测试；

3、提供自动上料功能，拥有探针与Pad自动对位功能。采用独立的光学系统使探针卡上所有的针尖能够自动精准地扎在相应的Pad上；

4、设备参数和运行状态信息等数据可以自由发送或接收到硬盘和外部计算机系统，方便实时查看和追溯分析。

 

参数规格：

序号 项目 内容 备注
1 机台尺寸及重量 尺寸（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 重量 约2.2T  
3 晶圆尺寸规格 晶圆直径 8"/12"  
4 晶圆厚度 150~2200μm  
5 厚度偏差 ≤±50μm  
6 Die尺寸 0.2~100mm  
7 测试方向 测试顺序 X/Y方向连续探测  
8

θ

 可调节范围 ±5°  
9 分辨率 0.00007°  
10 X/Y轴 精度 ≤±2μm  
11 最大速度 250mm/s  
12 探测行程 ≥±160mm  
13 分辨率 0.1μm  
14 Z轴 精度 ≤±2μm  
15 最大速度 50mm/s  
16 行程 ≥80mm  
17 分辨率 0.1μm  
18 OD范围 0~500μm  
19 Index Time 循环时间 230ms（6mm以内的Die Z升降0.5mm）  
20 预对准 精准度 角度≤±0.5°，中心位置≤0.2mm  
21 触摸屏 规格 15Inch五线电阻式  
22 大电流测试 电流范围 0~800A 选配
23 高压测试 电压范围 0~3000V 选配
24 高低温测试 温度范围 -60~200℃ 选配
25 控温精度 ±0.1℃
26 温度稳定性 0.1℃
27 温度均匀性 ≤100°C时≤+0.5°C
＞100°C时＜+0.5%

 

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