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SKD2000 全自动晶圆探针台

适用：6inch、8inch,LSI(大规模集成电路)和VLSI(超大规模集成电路)等晶圆测试。

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产品描述

适用范围：

适用于6inch、8inch,LSI(大规模集成电路)和VLSI(超大规模集成电路)等晶圆测试。

 

参数规格：

序号 项目 内容 备注
1 晶圆尺寸规格 晶圆直径 6/8寸  
2 晶圆厚度 150~1000μm  
3 厚度偏差 ≤+50μm  
4 Die尺寸 0.25~100mm  
5 Index Time 循环时间 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y轴 精度 ≤+2μm  
7 最大速度 250mm/s  
8 探测行程 ≥±120mm  
9 分辨率 0.1μm  
10 Z轴 精度 ≤+2μm  
11 最大速度 50mm/s  
12 行程 ≥47mm  
13 分辨率 0.1μm  
14 θ 可调节范围 ±5°  
15 分辨率 0.00007°  
16 厂务要求 电压 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管径ф8  
18 真空气源 -80~-100KPa 管径ф6  
19 整机 尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 重量 1500Kg  
21 大电流测试 电流范围 0~800A 选配
22 高压测试 电压范围 0~3000V 选配
23 高低温测试 温度范围 -60~200℃ 选配
24 控温精度 ±0.1℃
25 温度稳定性 0.1℃
26 温度均匀性

≤100℃时≤+0.5℃

>100℃时<±0.5%

 

 

 

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